Дисилицид титана - Titanium disilicide
Имена | |
---|---|
Название ИЮПАК
Дисилицид титана
|
|
Другие имена
Силицид титана
|
|
Идентификаторы | |
3D модель ( JSmol )
|
|
ECHA InfoCard | 100.031.719 |
Номер ЕС | |
PubChem CID
|
|
Панель управления CompTox ( EPA )
|
|
|
|
|
|
Характеристики | |
TiSi 2 | |
Молярная масса | 104,038 г / моль |
Появление | черные ромбические кристаллы |
Плотность | 4,02 г / см 3 |
Температура плавления | 1470 ° С (2680 ° F, 1740 К) |
нерастворимый | |
Растворимость | растворим в HF |
Опасности | |
Пиктограммы GHS | |
Сигнальное слово GHS | Предупреждение |
H228 , H315 , H319 , H335 | |
Р210 , Р240 , Р241 , Р261 , Р264 , Р271 , Р280 , Р302 + 352 , Р304 + 340 , P305 + 351 + 338 , P312 , P321 , P332 + 313 , P337 + 313 , P362 , P370 + 378 , P403 + 233 , P405 , P501 | |
Родственные соединения | |
Другие катионы
|
Дисилицид циркония Дисилицид гафния |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа). |
|
проверить ( что есть ?) | |
Ссылки на инфобоксы | |
Дисилицид титана ( Ti , Si , 2 ) представляет собой неорганическое химическое соединение из титана и кремния .
Подготовка
Дисилицид титана может быть получен реакцией между титаном или гидридом титана с кремнием.
- Ti + 2 Si → TiSi 2
Его также можно получить алюмотермическим способом путем воспламенения порошка алюминия , серы , диоксида кремния и диоксида титана или гексафторотитаната калия, K 2 TiF 6 , путем электролиза расплава гексафторотитаната калия и диоксида титана или путем реакции титана с диоксидом титана. тетрахлорид кремния .
Другой метод - это взаимодействие тетрахлорида титана с силаном , дихлорсиланом или кремнием.
- TiCl 4 + 2 SiH 4 → TiSi 2 + 4 HCl + 2 H 2
- TiCl 4 + 2 SiH 2 Cl 2 + 2 H 2 → TiSi 2 + 8 HCl
- TiCl 4 + 3 Si → TiSi 2 + SiCl 4
Использует
Силицид титана используется в полупроводниковой промышленности. Обычно его выращивают с помощью технологии салицида над линиями кремния и поликремния, чтобы уменьшить сопротивление слоев локальных соединений транзисторов. В микроэлектронной промышленности он обычно используется в фазе C54.
использованная литература